הרעיון של מעגל משולב הוצע לראשונה בשנת 1952 על ידי מהנדס בשם ג'פרי דאמר שעבד ב"חברה המלכותית לאותות ורדארים" בבריטניה. אך רעיונותיו נראו בזמנו לא מציאותיים, לכן לא הצליח להשיג מימון ממשלתי או פרטי למימוש הפרוייקט

המעגלים המשולבים הראשונים נוצרו בנפרד על ידי ג'ק קילבי בשנת 1959 המעגל הראשון הזה כלל רק טרנזיסטור אחד ומספר מרכיבים נוספים על פרוסת גרמניום ורוברט נוייס בשנת 1961 אשר יצר את הצ'יפ הראשון שהיה עשוי צורן